امروزه کانتیلیور های AFM عمدتا از سیلیکون و سیلیکون نایتراید ساخته می شوند. استفاده از سیلیکون در ساخت تیپ ها و کانتیلورها دارای فوایدی است که در زیر به آن اشاره می کنیم:

۱ -تیپ هایی که از جنس سیلیکون هستند را با استفاده از اکسید های حرارتی می توان به راحتی تیز کرد.

۲ -تیپ های سیلیکونی که با کانتیلور های سیلیکونی مجتمع شده اند ، در مقایسه با تیپ های کربنی که با استفاده لایه نشانی پرتو الکترونی لایه نشانی می شوند بسیار راحت در مقیاس های بزرگ ساخته می شوند.

۳ -تیپ های سیلیکونی را می توان با استفاده از تک لایه های مقاوم پروتئینی اصلاح کرد و از آنها برای تصویر برداری از نمونه های بیولوژیکی استفاده نمود.

۴ -کانتیلور های سیلیکونی تک کریستال نسبت به کانتیلور های نامنظم سیلیکون نانیتراید که به روش لایه نشانی بخار شیمیایی رشد داده شده اند، دارای ضریب Q بالاتری می باشند.

۵ -در یک ضخامت مناسب ، کانتیلور های سیلیکونی که نازک تر از ۵۰۰ نانومتر می باشد دارای ۷۰ درصد بازتاب پذیری بالا به لیزر قرمز که یک منبع نور متداول در نوک SPM تجاری ساطع می شود، را دارد.

علاوه بر این ، اگر از لیزر آبی- بنفش در نوک های SPM استفاده شود، بازتاب پذیری در کانتیلور های سیلیکونی تغری در مقایسه با ضخامت آن نخواهد کرد. این اتفاق بدلیل جذب قوی نور آبی می باشد که به طور کامل اثر تداخل فیلم را در سیلیکون حذف می نماید.

در شکل های زیر چند عدد از تصاویر نمونه های ساخته شده آورده شده است